氮化镓(GaN)在高压功率应用中理论性能优越,但受限于衬底材料质量,商业化进展缓慢。高压应用需要垂直器件设计,而这依赖高质量GaN同质衬底或工程衬底。近年来,GaN外延生长技术取得进展,QST等工程衬底显著改善了材料质量。在掺杂与栅介质工艺上,研究人员也取得突破,沟槽栅MOSFET等垂直器件设计已验证千伏级击穿电压。但整体工艺成熟度尚不足以挑战硅和碳化硅的市场地位。
半导体材料与技术授权公司Atomera宣布,其关于氮化镓硅基(GaN-on-Si)技术的概念书已获批进入PowerAmerica研究所主导提案(IIP)阶段,旨在推动宽禁带功率半导体技术发展。该提案提出与行业及科研伙伴合作,利用Atomera的MST技术提升GaN材料质量与晶圆良率,降低制造成本,为GaN技术的广泛应用奠定基础。