2026-05-09
La Luce Cristallina推出兼容CMOS的氧化物伪衬底,助力量子与射频应用规模化
美国奥斯汀公司La Luce Cristallina发布了一款兼容CMOS的氧化物伪衬底,可在200mm硅及绝缘体上硅晶圆上直接生长高质量外延钛酸锶薄膜(厚度4nm至50nm)。该平台填补了学术研究与商业制造之间的鸿沟,...
美国奥斯汀公司La Luce Cristallina发布了一款兼容CMOS的氧化物伪衬底,可在200mm硅及绝缘体上硅晶圆上直接生长高质量外延钛酸锶薄膜(厚度4nm至50nm)。该平台填补了学术研究与商业制造之间的鸿沟,...