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超宽禁带材料研发 关键字列表
IFW Dresden选用Agnitron Agilis 100 MOCVD平台推进超宽禁带材料研发
德国莱布尼茨固态与材料研究所（IFW德累斯顿）材料化学研究所已将Agnitron Technology的Agilis 100 MOCVD系统引入其MOCVD与ALD能力中心。该系统将用于前驱体化学研究及氮化钪铝（ScAlN）等超宽禁带半导体材料的开发。ScAlN具有显著增强的压电系数，有望在高频、高功率及声学半导体器件中发挥重要作用。鉴于首台设备的良好表现，IFW德累斯顿已决定采购第二台系统，用于氧化镓薄膜的前驱体开发研究。
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