IFW Dresden选用Agnitron Agilis 100 MOCVD平台推进超宽禁带材料研发

德国莱布尼茨固态与材料研究所（IFW德累斯顿）材料化学研究所已将Agnitron Technology的Agilis 100 MOCVD系统引入其MOCVD与ALD能力中心。该系统将用于前驱体化学研究及氮化钪铝（ScAl...