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HexaTech正式推出3英寸直径氮化铝单晶衬底产品
美国HexaTech公司（日本Stanley Electric子公司）正式推出3英寸（76.2mm）直径单晶氮化铝（AlN）衬底产品。3英寸衬底被视为迈向100mm直径材料的关键里程碑，可支持未来高压、高频电子器件的大规模生产。该产品延续了HexaTech在2英寸平台上的无宏观缺陷性能，并在提升质量的同时降低单位面积价格，助力客户从器件研究快速向量产过渡。
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