曲线掩模突破光刻检测与量测的极限

随着曲线掩模逐渐成为主流，整个芯片制造生态系统面临重大挑战。从设计到掩模数据准备、写入、检测和计量，全流程需实现曲线原生化。当前检测重心正从"发现所有缺陷"转向"识别影响晶圆良率的关键缺陷"。高数值孔径EUV的引入将进一...

AI基础设施热潮持续高涨，ASML订单创新纪录

荷兰光刻设备制造商ASML发布的季度财报显示，AI基础设施建设热潮依然强劲。作为先进芯片制造核心设备的唯一供应商，ASML本季度新订单达130亿欧元，创历史新高，较上季度增长一倍多。CEO表示，客户对AI相关需求的可持续...