随着封装、中介层和面板尺寸不断增大,翘曲正成为一个日益突出的制约因素。业界发现,负热膨胀(NTE)材料这一新上市的材料类别有助于抑制翘曲现象。目前商用NTE材料已开始应用于半导体封装领域,但更广泛的普及还取决于温度适用范围、不同材料间的兼容性以及混合的均匀性和纯度等因素。
热致翘曲是由不同材料在受热时膨胀速率的差异所引起的,这一问题在大型芯片和封装中日益突出。解决方案可能在于引入一类新型材料——它们在受热时实际上会收缩。
企业并没有仅仅依赖少数能够收缩的物质,而是将重点放在具有晶格结构的混合材料上,这种结构能够抵抗膨胀的趋势。将此类材料用作底部填充料和封装模塑料,可以在保持翘曲可控的同时,为更大尺寸的封装增加刚性。
翘曲:共同的敌人
翘曲现象,尤其是在大型封装和面板中,是由于基板、芯片以及周围模塑料在受热时的表现不一致所导致的。这是阻碍封装基板、中介层和面板持续增大尺寸的最大问题之一。粘合区域越大,边缘连接不良或彻底失效的可能性就越高。甚至在粘合之前,过度的翘曲就可能使真空吸盘等标准制造设备功能失效。
安靠公司(Amkor)晶圆服务高级经理诺尔顿·奥尔姆斯特德(Knowlton Olmstead)表示:"真空吸盘会将翘曲部分压平,但如果翘曲程度过高,就无法形成良好的真空。"
任何两种具有不同热膨胀系数(CTE)的材料相接触的地方,都可能出现一定程度的翘曲。举例来说,假设有两层材料,如果底层的CTE更高,那么它会试图自然膨胀到其应有的程度。但上层材料会对其加以限制(假设两者粘合良好),这将导致底层材料的边缘向上卷曲。
理论上,只要存在CTE差异,就不可能完全阻止翘曲的发生。问题的关键在于翘曲程度是否过高,以及如果过高,该如何应对。
奥尔姆斯特德说:"我们会进行一定程度的建模,提前对翘曲情况进行模拟,然后有一些可以调整的手段来控制翘曲。"
如果硅是其中一层材料(这种情况很常见),减薄硅层可以降低翘曲程度。安靠公司芯粒/FCBGA集成副总裁迈克·凯利(Mike Kelly)表示:"如果硅层更薄,就能减少低CTE硅层带来的影响。极端情况下,可以把它做得非常薄,这样它就能贴合所连接物体的形状。但这最终会带来问题,因为在管理高功率时,没有人希望使用超薄硅。"
翘曲还会影响新材料的应用前景,例如玻璃。新思科技(Synopsys)首席产品经理林朗(Lang Lin)表示:"你试图制造的面板越大,观察到的翘曲就越明显。目前我们讨论的翘曲量级是微米级,但对于玻璃而言,翘曲量可能更大——甚至达到毫米级。"
目前正在探索的一种方法是寻找或设计受热时会收缩的材料,赋予其负CTE特性。
布鲁尔科学公司(Brewer Science)研究科学家四级团队负责人卢克·普伦格(Luke Prenger)表示:"负CTE材料可以通过多种方式用于抵消膨胀,具体取决于最初为何需要抵消膨胀。对于应力管理和翘曲减少等应用而言,负CTE材料可以用来更好地匹配不同材料的CTE。一个典型案例是在聚合物材料中添加填料——聚合物的CTE通常远高于无机材料——以降低聚合物基质的整体CTE,使其更接近器件中金属层和其他组件的CTE。将有机层的CTE调节至更接近无机层,有助于减少器件中的翘曲和整体应力累积。"
逆流而上
导致翘曲的一个材料界面是用于填充料和底部填充的环氧模塑料(EMC)。它填充了封装内部所有主要间隙,因此当温度变化时,它会影响到接触到的所有部件。改变该化合物的成分可以减轻翘曲。关键在于改变CTE,理想情况下用负CTE来抵消相邻的正CTE。另外,将正CTE材料与负CTE材料混合,也可以改变组合材料的整体CTE。
多种材料可以表现出真正的负热膨胀(NTE)行为,尽管这种现象通常只在特定温度范围内出现,且可能与相变有关。例如,水在3.98°C以上表现正常,低于此温度则趋向于结冰。众所周知,由于分子结构的原因,冰的密度比水小,因此在3.98°C到0°C之间,随着越来越多的水呈现这种结构,水会持续膨胀,直至最终完全转变为冰。
与表现出真正NTE行为的材料不同,其他物质可能是由普通材料被包裹在限制膨胀的晶格结构中构成的。该晶格结构决定了被包裹物质的行为方式,因此结构本身至关重要。
三菱化学集团半导体业务全球市场营销与业务拓展高级总监桑吉夫·巴特(Sanjiv Bhatt)表示:"关键在于填料本身的结构。"
固体可能具有多种分子排列方式。聚合物可以是非晶态的,而无机材料通常具有某种晶格结构。材料科学家会对不同结构进行分类,并研究其流变学特性(即材料流动方式的研究)。
他们会描述各种晶格结构,例如纸牌屋式、刚性棒式或四面体式结构。这些结构的行为方式各不相同,能够在一个或多个维度上建立刚性。晶格内部(也称为基质或网络)的内容物也会影响流动方式,而组合而成的NTE材料正体现了这样一种结构——被限制性基质包裹的功能材料。
巴特解释道:"这更多是一种网络效应,而非单纯的材料效应。并非所有物质都会形成相同的网络结构。碳粉会形成絮凝网络。如果你观察碳纤维网络,那是一种增强型刚性棒网络。所以如果你把碳纤维放入基质中,就像河流中的原木。如果我把原木放在水里,它对水的流动能力影响很小。它会有一定的限制作用,但水仍然可以在原木之间找到流动的空间。但如果我在水中加入大量黏土,水就会变浑浊,并且会真正限制水的流动,因为这改变了黏度。"
被困于笼中
这种结构——即一种材料包裹另一种材料的基质——能够限制被包裹物质膨胀的趋势。它甚至可以通过重新调整结构中分子的方向,在受热时略微收缩。从流变学角度看,膨胀和收缩都被视为流动现象,因此在受限的情况下,流动方向会被重新引导,从而避免原本可能出现的翘曲。
巴特说:"很多人会谈论收缩和膨胀,但对我而言,从流变学角度看,这些都是低剪切速率的流动。如果你观察基质中的某种物质,加热时它收缩或膨胀的原因是它必须流动。分子想要松弛下来,这种流动会找到最容易的路径。现在你引入某种结构将它笼住,这就改变了流动的动力学特性。"
巴特说:"在这些[填料]材料中,存在一种纸牌屋式结构,也就是一种不允许移动的晶格,该网络会自我排列,使得最终形成的基质呈现出负CTE。自组装正是化学发挥作用的地方——你必须确保这些物质被适当地功能化,从而以某种特定方式自我排列。"
一种材料试图膨胀但被另一种结构所约束,这就引出了一个问题:这种基质是否可能在膨胀材料的压力下发生破裂?答案是肯定的。这种现象被称为熔化,此时整个结构就会瓦解。
他说:"如果你有一个基质,把它熔化,它开始流动,那就相当于破裂的情况。但到那个时候,材料已经具备了基质的热学特性。"
尽管这种基质改变了其包裹材料的流动特性,但并不会改变该材料的特征温度。巴特指出:"增强结构对基质材料的热转变行为影响非常小,它永远不会改变玻璃化转变温度或熔融转变温度。"
这也不是为了打造零CTE材料。其目的是调整化合物的CTE,以最小化不同材料之间的差异。
巴特表示:"我们的负CTE填料会随温度升高而收缩,从而抵消树脂的自然膨胀。通过降低并调节模塑料的有效CTE,可以减少芯片、基板和封装材料之间的热膨胀不匹配,有助于最大限度地减少应力和封装翘曲。"
NTE材料的登场
NTE材料较为罕见,这是其一大缺点。普伦格证实:"负CTE材料的数量非常有限。β-锂霞石已被积极用作某些工具中块状部件的陶瓷材料,而钨酸锆则被用作各类模塑料和底部填充材料的添加剂。"
锂霞石(意为"深藏不露")存在于自然界中(据说只要找得够仔细就能发现),而钨酸锆则不然。钨酸锆在三个维度上均表现出NTE特性,是人工合成NTE物质之一。此类材料的设计极具挑战性。
普伦格解释道:"负CTE材料本身选择范围就有限,而设计新材料则更为复杂,且仅存在于无机材料领域。对于有机材料而言,几乎所有被标注具有负CTE特性的聚合物材料,其负CTE特性都只体现在一个维度上,而非三个维度。这导致有机材料只能局限于添加无机填料这一途径。"
尽管NTE材料已作为研究课题存在了一段时间,但三菱化学集团最近才将其推向市场。这是一种无机材料,可与有机环氧树脂混合,以定制环氧树脂的CTE。该材料也提供预先与树脂混合好的版本。
图1:三菱化学的NTE材料可混入用于电子封装的环氧树脂中。图源:三菱化学集团
如果这一方案得到验证,并且其他材料公司也纷纷跟进,这可能成为半导体封装领域的标准配方。但要实现商业成功,这些材料必须能在较宽的温度范围内保持性能,不仅要覆盖工艺加工环节,还要涵盖温度更高的制造操作环节。它们必须能够轻松、均匀地混入树脂中。同时,还必须避免因杂质引起的α粒子发射而带来意外影响。
如果一切按计划进行,这可能是朝着实现更大尺寸封装和面板迈进的又一步。
——格雷戈里·哈利(Gregory Haley)对本文亦有贡献。
Q&A
Q1:负热膨胀材料是什么?它有什么作用?
A:负热膨胀(NTE)材料是一类受热时会收缩而非膨胀的材料。在半导体封装中,它们可以用来抵消其他材料受热膨胀所产生的翘曲问题,帮助大型芯片和封装保持结构稳定。
Q2:为什么芯片封装尺寸越大,翘曲问题就越严重?
A:因为封装、中介层和面板尺寸增大后,粘合区域也随之增大,不同材料之间热膨胀系数不匹配所引发的翘曲效应会被放大,导致边缘连接不良甚至失效,还可能影响真空吸盘等制造设备的正常使用。
Q3:目前有哪些负热膨胀材料已经投入使用?
A:目前应用较多的包括β-锂霞石(用于陶瓷工具部件)和钨酸锆(用作模塑料和底部填充材料的添加剂)。三菱化学集团也推出了可与环氧树脂混合使用的NTE材料,用于半导体封装领域。
