硅晶圆为什么是圆形的？

硅晶圆之所以是圆形，根本原因在于1916年发明的柴可拉斯基法——旋转拉晶工艺天然产出圆柱形硅锭。圆形晶圆还具备重要物理优势：均匀分布热应力、支持旋转对称的光刻涂胶与化学机械抛光工艺，并简化等离子刻蚀中的工艺均匀性控制，是...