机器人与智能装备控制如何驱动下一代晶圆厂生产力提升

机器人、协作机器人与AI正在重塑半导体晶圆厂运营。Intel采用Boston Dynamics四足机器人执行16项预防性巡检任务，UMC开发AMR替代人工巡检，Lam Research推出Dextro协作机器人执行腔室清...