AI模型革新缺陷检测与审查，但规模化仍面临挑战

AI模型正在显著提升半导体制造中的缺陷捕获率，帮助工程师区分真实缺陷与干扰性缺陷，并发现传统技术难以识别的缺陷类型。在晶圆边缘检测和混合键合等新兴工艺中，AI表现尤为突出。然而，超过70%的AI项目在试点后陷入停滞，主要...