韩国汉阳大学ERICA校区研究人员开发出一种垂直集成双栅晶体管设计,有望赋予机器人"可靠的触觉感知能力与高密度大面积集成特性"。
传统摩擦电子器件能够将触摸等机械刺激转化为电信号,但其灵敏度固定,且在大面积集成方面存在较大挑战。
在一项最新研究中,研究人员开发出一种新型垂直集成双栅摩擦电子晶体管架构,该架构具备可调节灵敏度、可靠的接触与接近检测能力,以及最小像素占用面积,从而支持高密度阵列集成。
这项技术有望为电子皮肤系统的发展铺平道路,使机器人和假肢能够可靠地感知人类触摸。
近年来,小型化与便携式电子设备,尤其是可穿戴与柔性设备的快速发展,推动了对自供电传感技术的需求持续增长。
其中,摩擦电纳米发电机(TENG)因其在高灵敏度触觉传感器研发方面的突出表现而受到广泛关注。TENG通过电荷重新分布,将外部机械刺激转化为电信号,在先进电子皮肤与智能机器人领域尤具吸引力。然而,传统摩擦电子器件存在灵敏度不可调节的问题,在大面积架构集成上也面临挑战,限制了其实际应用范围。
为突破上述局限,韩国汉阳大学光子与纳米电子学系副教授金在均(Jaekyun Kim)带领研究团队,开发出一种新型垂直集成双栅摩擦电子晶体管。
"我们的垂直双栅架构不仅实现了对摩擦电响应的栅极可调放大,还将像素占用面积降至最低,从而支持高密度大面积集成。"金博士解释道。
该研究于2026年4月9日在线发布,并于2026年6月15日发表在《纳米能源》第153卷。
所提出的双栅摩擦电子晶体管以聚二甲基硅氧烷(PDMS)摩擦电感测层作为顶栅,叠加在专用栅绝缘层之上,绝缘层下方则是铟锡锌氧化物(ITZO)薄膜晶体管(TFT)。这一创新配置实现了对灵敏度的协同控制。
在默认状态下,底栅用于设定流经ITZO晶体管的基准电流。为实现接触与接近感知,器件首先进入充电阶段——不锈钢板与PDMS表面接触,使界面处产生摩擦电荷。当钢板与PDMS层分离时,积累的电荷形成摩擦电势,作为顶栅电压,从而抑制流经ITZO晶体管的电流。
当带电钢板或其他物体再次靠近PDMS表面时,摩擦电势随之逐渐降低,晶体管电流随物体距离的变化而恢复。这种电流变化即为摩擦电子响应,用以指示接触或接近状态。
与此同时,底栅电压设定基准电流,使灵敏度可通过电气方式进行调节。研究人员发现,灵敏度随底栅电压的增大而提升。
此外,研究人员还证明,接触压力越大,PDMS层与接触物体之间的有效接触面积越大,产生的摩擦电荷越多,响应信号也越强。
该器件在每次接触-分离循环中,展现出稳定的响应时间与恢复时间,分别为127毫秒和212毫秒,且在经历1000次工作循环后性能保持稳定,未出现明显衰减。
为验证主动触觉感知能力,研究人员基于所提架构制造了一个10×10的晶体管阵列。在用不锈钢板对感测层完成初始充电后,他们演示了该阵列对手指触摸的像素级响应,以及利用不锈钢探针在最远500微米距离内实现的可靠接近感知。
"我们的研究将有助于推动电子皮肤系统的发展,使机器人、假肢设备及可穿戴电子产品能够更精准地感知触摸、压力和接近信号。"金博士表示,"这将促进更安全、更可靠的人机交互,在医疗机器人、健康监测和自主系统领域具有广泛应用前景。"
总体而言,这一创新架构为可编程、机械鲁棒性强的摩擦电子传感器阵列提供了可扩展平台,为先进人机交互界面的发展开辟了新路径。
Q&A
Q1:摩擦电纳米发电机(TENG)在触觉传感中是如何工作的?
A:摩擦电纳米发电机通过电荷重新分布,将触摸等外部机械刺激转化为电信号。当物体与感测层接触或分离时,界面处会产生摩擦电荷,形成可被检测的电势变化,进而实现对触摸和接近状态的感知。这一原理使其在电子皮肤和智能机器人领域具有重要应用价值。
Q2:汉阳大学开发的双栅摩擦电子晶体管有哪些技术优势?
A:该器件采用垂直集成双栅架构,顶栅为PDMS摩擦电感测层,底部为ITZO薄膜晶体管。其核心优势包括:灵敏度可通过底栅电压电气调节、像素占用面积最小化以支持高密度集成、接触响应时间127毫秒、恢复时间212毫秒,且经1000次循环后性能稳定无明显衰减,同时支持最远500微米距离的接近感知。
Q3:这项电子皮肤技术未来有哪些应用场景?
A:根据研究团队介绍,该技术主要面向以下应用方向:医疗机器人领域可实现更精准的触觉反馈;假肢设备可获得类人的触觉感知能力;可穿戴电子设备可实现更灵敏的健康监测;自主系统可获得更可靠的接触与接近感知,从而提升人机交互的安全性与可靠性。
